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金相顯微鏡

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大平臺金相顯微鏡MCK-4RC

MCK-4RC系列為新型大平臺半導體檢查金相顯微鏡,專為芯片/晶圓/LCD行業/ 粒子爆破檢查,其微分干涉效果可與進口品牌相媲美,MCK-4RC系列機型采用全新設計的長工作距物鏡、半復消色差技術,多層寬帶鍍膜技術,采用長壽命LED光源多種高度功能化的附件,能滿足各種檢驗需要,可用于明場、暗場、簡易偏光、微分干涉觀察。

詳細介紹 技術參數

一、大平臺金相顯微鏡主要用途和特點:

MCK-4RC系列為新型大平臺半導體檢查金相顯微鏡,專為芯片/晶圓/LCD行業/ 粒子爆破檢查,其微分干涉效果可與進口品牌相媲美,MCK-4RC系列機型采用全新設計的長工作距物鏡、半復消色差技術,多層寬帶鍍膜技術,采用長壽命LED光源多種高度功能化的附件,能滿足各種檢驗需要,可用于明場、暗場、簡易偏光、微分干涉觀察。

性能特點:

■ 所有光學部件均經過特殊處理并鍍有特殊膜層

■ 4英寸大平臺半導體檢查顯微鏡,其微分干涉效果可與進口品牌相媲美

■ 4英寸大平臺半導體檢查顯微鏡機型采用全新設計的長工作距物鏡、半復消色差技術,多層寬帶鍍膜技術。

■ 各種觀察方法下都能得到清晰銳利與高對比度的顯微圖像。

■ 高清相機CKC600,630萬像素,幀速40fps;高清相機CKC2000,2000萬像素,幀速真大15fps;可根據實際使用要求進行選配;


三、大平臺金相顯微鏡主要技術參數:

名 稱

參數規格


光學系統

無限遠色差校正光學系統


觀察方式

明場/暗場/偏光


光學放大倍數

50倍-500倍


數碼放大倍數

150倍-2000倍


觀察筒

正像,無限遠鉸鏈三通觀察筒,瞳距調節:50mm~76mm,兩檔分光比雙目:三目=100:0


目鏡

高眼點大視野目鏡SWH10X-H/23mm,視度可調


無限遠半復消色差長距明暗場物鏡

物鏡倍率

數值孔徑N A

工作距離(mm)

齊焦距離

5X

0.15

14.8

45

10X

0.3

8.5

45

20X

0.45

11.9

45

50X

0.75

3.0

45

100X(選配)

0.80

3.0

45

物鏡轉換器

5孔明暗場電動物鏡轉換器(帶DIC插槽)


調焦機構

低手位粗微同軸調焦機構。粗調行程35mm,微調精度0.001mm。帶有防止下滑的調節松緊裝置和隨機上限位裝置


載物臺

4英寸載物臺,平臺面積 310*240mm,移動行程:100mmX100mm機械平臺,X、Y方向同軸調節;


落射照明系統

10W大功率LED燈,亮度可調,預定中心


帶可變孔徑光闌,視場光闌,中心可調,帶濾色片插槽


內置100-240V寬電壓系統,采用數字調光,具有光強設定與復位功能


透射照明系統

搖出式消色差聚光鏡(N.A.0.9)


10W大功率LED燈,亮度可調,預定中心


偏光裝置

起偏鏡:插入式起偏鏡,可以移出光路


檢偏鏡:插入式可360°旋轉檢偏鏡,可以移出光路


暗場裝置

推拉式暗場觀察拉桿,可快速轉換到暗場觀察


微分干涉DIC

諾曼爾斯基微分干涉片(選配)


高清數字攝像機CKC2000S

分辨率 5440×3648,搭載 1 英寸索尼 CMOS 傳感器,2000 萬像素、2.4μm 像元;Type-B USB3.0 高速傳輸,多分辨率檔位幀率輸出,寬溫 - 20℃~70℃穩定工作,C 型鏡頭接口。

內置數字 ISP 圖像處理,支持手動 / 自動白平衡、增益調節,長短曝光可調,最長曝光 1500ms;支持定時連拍、錄像、無損圖像存儲,可翻轉、縮放裁剪圖像,色彩還原度高,低噪點成像。


顯微軟件

專業顯微分析軟件,支持景深合成、圖像拼接;可測量點、線、圓、角度等各類幾何參數,工具操作直觀。

支持錄像、圖像后期編輯,可添加文字、比例尺;多圖像格式輸出,配套 SDK 開發包,兼容國產系統,適用于各類顯微檢測分析。


四、大平臺金相顯微鏡組成:

1、金相顯微鏡MCK-4R        2、攝像機接口

3、高清數字攝像機CKC2000S    4、0.01mm測微尺  5、計算機(選購)


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