
MCK-4RC系列為新型大平臺半導體檢查金相顯微鏡,專為芯片/晶圓/LCD行業/ 粒子爆破檢查,其微分干涉效果可與進口品牌相媲美,MCK-4RC系列機型采用全新設計的長工作距物鏡、半復消色差技術,多層寬帶鍍膜技術,采用長壽命LED光源多種高度功能化的附件,能滿足各種檢驗需要,可用于明場、暗場、簡易偏光、微分干涉觀察。
一、大平臺金相顯微鏡主要用途和特點:
MCK-4RC系列為新型大平臺半導體檢查金相顯微鏡,專為芯片/晶圓/LCD行業/ 粒子爆破檢查,其微分干涉效果可與進口品牌相媲美,MCK-4RC系列機型采用全新設計的長工作距物鏡、半復消色差技術,多層寬帶鍍膜技術,采用長壽命LED光源多種高度功能化的附件,能滿足各種檢驗需要,可用于明場、暗場、簡易偏光、微分干涉觀察。
性能特點:
■ 所有光學部件均經過特殊處理并鍍有特殊膜層
■ 4英寸大平臺半導體檢查顯微鏡,其微分干涉效果可與進口品牌相媲美
■ 4英寸大平臺半導體檢查顯微鏡機型采用全新設計的長工作距物鏡、半復消色差技術,多層寬帶鍍膜技術。
■ 各種觀察方法下都能得到清晰銳利與高對比度的顯微圖像。
■ 高清相機CKC600,630萬像素,幀速40fps;高清相機CKC2000,2000萬像素,幀速真大15fps;可根據實際使用要求進行選配;
三、大平臺金相顯微鏡主要技術參數:
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名 稱 |
參數規格 |
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光學系統 |
無限遠色差校正光學系統 |
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觀察方式 |
明場/暗場/偏光 |
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光學放大倍數 |
50倍-500倍 |
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數碼放大倍數 |
150倍-2000倍 |
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觀察筒 |
正像,無限遠鉸鏈三通觀察筒,瞳距調節:50mm~76mm,兩檔分光比雙目:三目=100:0 |
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目鏡 |
高眼點大視野目鏡SWH10X-H/23mm,視度可調 |
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無限遠半復消色差長距明暗場物鏡 |
物鏡倍率 |
數值孔徑N A |
工作距離(mm) |
齊焦距離 |
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5X |
0.15 |
14.8 |
45 |
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10X |
0.3 |
8.5 |
45 |
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20X |
0.45 |
11.9 |
45 |
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50X |
0.75 |
3.0 |
45 |
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100X(選配) |
0.80 |
3.0 |
45 |
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物鏡轉換器 |
5孔明暗場電動物鏡轉換器(帶DIC插槽) |
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調焦機構 |
低手位粗微同軸調焦機構。粗調行程35mm,微調精度0.001mm。帶有防止下滑的調節松緊裝置和隨機上限位裝置 |
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載物臺 |
4英寸載物臺,平臺面積 310*240mm,移動行程:100mmX100mm機械平臺,X、Y方向同軸調節; |
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落射照明系統 |
10W大功率LED燈,亮度可調,預定中心 |
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帶可變孔徑光闌,視場光闌,中心可調,帶濾色片插槽 |
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內置100-240V寬電壓系統,采用數字調光,具有光強設定與復位功能 |
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透射照明系統 |
搖出式消色差聚光鏡(N.A.0.9) |
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10W大功率LED燈,亮度可調,預定中心 |
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偏光裝置 |
起偏鏡:插入式起偏鏡,可以移出光路 |
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檢偏鏡:插入式可360°旋轉檢偏鏡,可以移出光路 |
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暗場裝置 |
推拉式暗場觀察拉桿,可快速轉換到暗場觀察 |
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微分干涉DIC |
諾曼爾斯基微分干涉片(選配) |
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高清數字攝像機CKC2000S |
分辨率 5440×3648,搭載 1 英寸索尼 CMOS 傳感器,2000 萬像素、2.4μm 像元;Type-B USB3.0 高速傳輸,多分辨率檔位幀率輸出,寬溫 - 20℃~70℃穩定工作,C 型鏡頭接口。
內置數字 ISP 圖像處理,支持手動 / 自動白平衡、增益調節,長短曝光可調,最長曝光 1500ms;支持定時連拍、錄像、無損圖像存儲,可翻轉、縮放裁剪圖像,色彩還原度高,低噪點成像。 |
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顯微軟件 |
專業顯微分析軟件,支持景深合成、圖像拼接;可測量點、線、圓、角度等各類幾何參數,工具操作直觀。
支持錄像、圖像后期編輯,可添加文字、比例尺;多圖像格式輸出,配套 SDK 開發包,兼容國產系統,適用于各類顯微檢測分析。 |
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四、大平臺金相顯微鏡組成:
1、金相顯微鏡MCK-4R 2、攝像機接口
3、高清數字攝像機CKC2000S 4、0.01mm測微尺 5、計算機(選購)