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專業(yè)產(chǎn)品
金相顯微鏡

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全新科研型金相顯微鏡MCK-6RC系列

MCK-6RC系列為新型大平臺(tái)半導(dǎo)體檢查金相顯微鏡,專為芯片/晶圓/LCD行業(yè)/ 粒子爆破檢查,其微分干涉效果可與進(jìn)口品牌相媲美,MCK-6RC系列機(jī)型采用全新設(shè)計(jì)的長(zhǎng)工作距物鏡、半復(fù)消色差技術(shù),多層寬帶鍍膜技術(shù),采用長(zhǎng)壽命LED光源多種高度功能化的附件,能滿足各種檢驗(yàn)需要,可用于明場(chǎng)、暗場(chǎng)、簡(jiǎn)易偏光、微分干涉觀察。

詳細(xì)介紹 技術(shù)參數(shù)

一、大平臺(tái)金相顯微鏡主要用途和特點(diǎn):

MCK-6RC系列為新型大平臺(tái)半導(dǎo)體檢查金相顯微鏡,專為芯片/晶圓/LCD行業(yè)/ 粒子爆破檢查,其微分干涉效果可與進(jìn)口品牌相媲美,MCK-6RC系列機(jī)型采用全新設(shè)計(jì)的長(zhǎng)工作距物鏡、半復(fù)消色差技術(shù),多層寬帶鍍膜技術(shù),采用長(zhǎng)壽命LED光源多種高度功能化的附件,能滿足各種檢驗(yàn)需要,可用于明場(chǎng)、暗場(chǎng)、簡(jiǎn)易偏光、微分干涉觀察。

性能特點(diǎn):

■ 所有光學(xué)部件均經(jīng)過(guò)特殊處理并鍍有特殊膜層

 ■ 6英寸大平臺(tái)半導(dǎo)體檢查顯微鏡,其微分干涉效果可與進(jìn)口品牌相媲美

 ■ 6英寸大平臺(tái)半導(dǎo)體檢查顯微鏡機(jī)型采用全新設(shè)計(jì)的長(zhǎng)工作距物鏡、半復(fù)消色差技術(shù),多層寬帶鍍膜技術(shù)。

■ 各種觀察方法下都能得到清晰銳利與高對(duì)比度的顯微圖像。

■ 高清相機(jī)CKC600,630萬(wàn)像素,幀速40fps;高清相機(jī)CKC2000,2000萬(wàn)像素,幀速真大15fps;可根據(jù)實(shí)際使用要求進(jìn)行選配;

● 獨(dú)立的金相檢測(cè)系統(tǒng)

不同于傳統(tǒng)的金相顯微鏡,蔡康光學(xué)金相系統(tǒng)顯微鏡選擇了緊湊的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),外觀大氣穩(wěn)重,操作更為靈活。集成了明場(chǎng)、暗場(chǎng)、偏光、DIC微分干涉等多種觀察功能,可根據(jù)實(shí)際應(yīng)用進(jìn)行選擇。

● 無(wú)限遠(yuǎn)鉸鏈三目觀察筒

正像鉸鏈三目觀察筒,所成像的方位與物體實(shí)際方向相同,物體移動(dòng)的方向跟像面移動(dòng)的方向相同,便于觀察與操作。

 ● 高品質(zhì)專業(yè)LCD檢測(cè)金相物鏡

名稱

倍率

數(shù)值孔徑

工作距離

名稱

倍率

數(shù)值孔徑

工作距離

半復(fù)

明暗場(chǎng)物鏡

5X

0.15

14.8mm

螢石

明暗場(chǎng)物鏡

5X

0.15

20mm

10X

0.30

8.5mm

10X

0.30

11mm

20X

0.45

11.9mm

20X

0.45

3.0mm

50X

0.75

3.0mm

50X

0.80

1.0mm

100X

0.80

3.0mm

100X

0.90

1.0mm

● 高眼點(diǎn)大視野屈光度可調(diào)平場(chǎng)目鏡

SWH10X-H/23mm高眼點(diǎn)大視野平場(chǎng)目鏡, 屈光度可調(diào)。

SWH10X-H/25mm超寬25mm視野高眼點(diǎn)目鏡,相對(duì)常規(guī)22mm的視場(chǎng)范圍,視野更加平坦,寬廣,并且視場(chǎng)邊緣都能保證清晰明亮,給用戶更加舒適的視覺(jué)感受。提供更加平臺(tái)的觀察范圍,提高工作效率。更大值域屈光度調(diào)節(jié)范圍可滿足更多用戶的使用需求。

亦可選配其它倍率、視場(chǎng),并根據(jù)不同需求添加指針、測(cè)微尺及視度可調(diào)功能。

 ● 高精度物鏡轉(zhuǎn)換器

轉(zhuǎn)換器采用精密軸承設(shè)計(jì),轉(zhuǎn)動(dòng)手感輕巧舒適,重復(fù)定位精度高,物鏡轉(zhuǎn)換后的同心度也得到較好的控制。

 

二、大平臺(tái)金相顯微鏡MCK-6RC 功能介紹:

MCK-6RC 集成了明場(chǎng)、暗場(chǎng)、偏光、DIC等多種觀察功能。 廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、FPD、電路封裝、電路基板、材料、鑄件金屬陶瓷部件、精密磨具等檢測(cè).

集成了明場(chǎng)、暗場(chǎng)、偏光、DIC等各種觀察功能,可根據(jù)實(shí)際應(yīng)用,進(jìn)行功能選擇。

   ●明場(chǎng)觀察(反射)

   反射照明系統(tǒng),配以全新設(shè)計(jì)的無(wú)限遠(yuǎn)半復(fù)消長(zhǎng)距明暗場(chǎng)物鏡,從低倍到高倍,都能得到清晰、平坦、明亮的高畫(huà)質(zhì)顯微圖像。

   ●明場(chǎng)觀察(透射)

   10W大功率LED,配以N.A.0.9聚光鏡,可在透射照明下,觀察LCD彩色液晶顯示屏,器件框架邊緣等。

  ●暗場(chǎng)觀察

   將暗場(chǎng)照明拉桿拉到指定位置,即可使用暗場(chǎng)功能,可以觀察物體表面的各種劃痕、雜志點(diǎn)及其他細(xì)微缺陷。

   ●簡(jiǎn)易偏光觀察

偏振系統(tǒng)包括了起偏鏡插板和檢偏鏡插板,可做偏光檢測(cè),在半導(dǎo)體和PCB檢測(cè)中,可消除雜光,細(xì)節(jié)更清晰真實(shí)。360度旋轉(zhuǎn)式檢偏器可以在不移動(dòng)標(biāo)本的情況下,方便的觀察標(biāo)本在不同偏振角度光線下呈現(xiàn)的狀態(tài).

 

●DIC微分干涉觀察(選配)

DIC諾曼爾斯基微分干涉襯比系統(tǒng)附件。

在正交偏光的基礎(chǔ)上,插入DlC棱鏡,可進(jìn)行DIC微分干涉相襯觀察。DIC技術(shù)可以使物體表面微小的高低差產(chǎn)生明顯的浮雕效果,大幅提高圖像對(duì)比度。

采用高性能微分干涉組件,可以將明場(chǎng)觀察下無(wú)法檢測(cè)的細(xì)微高低差,轉(zhuǎn)化為高對(duì)比度的明暗差并以立體浮雕形式表現(xiàn)出來(lái),廣泛用于LCD導(dǎo)電粒子,精密磁盤表面劃痕檢測(cè)等領(lǐng)域。


三、大平臺(tái)金相顯微鏡主要技術(shù)參數(shù):

名 稱

參數(shù)規(guī)格

光學(xué)系統(tǒng)

無(wú)限遠(yuǎn)色差校正光學(xué)系統(tǒng)

觀察方式

明場(chǎng)/暗場(chǎng)/偏光

光學(xué)放大倍數(shù)

50倍-1000倍

數(shù)碼放大倍數(shù)

150倍-3000倍

觀察筒

正像,無(wú)限遠(yuǎn)鉸鏈三通觀察筒,瞳距調(diào)節(jié):50mm~76mm,兩檔分光比雙目:三目=100:0

目鏡

高眼點(diǎn)大視野目鏡SWH10X-H/23mm,視度可調(diào)

無(wú)限遠(yuǎn)半復(fù)消色差長(zhǎng)距明暗場(chǎng)物鏡

物鏡倍率

數(shù)值孔徑N A

工作距離WD(mm)

齊焦距離

5X

0.15

14.8

45

10X

0.3

8.5

45

20X

0.45

11.9

45

50X

0.75

3.0

45

100X(選配)

0.80

3.0

45

物鏡轉(zhuǎn)換器

5孔明暗場(chǎng)手動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器(帶DIC插槽)

調(diào)焦機(jī)構(gòu)

低手位粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)。粗調(diào)行程35mm,微調(diào)精度0.001mm。帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機(jī)上限位裝置

載物臺(tái)

6英寸平臺(tái),平臺(tái)面積 450*220mm,移動(dòng)行程:158mmX158mm機(jī)械平臺(tái),X、Y方向同軸調(diào)節(jié);含快速移動(dòng)裝置

落射照明系統(tǒng)

5W大功率LED燈,亮度可調(diào),預(yù)定中心

帶可變孔徑光闌,視場(chǎng)光闌,中心可調(diào),帶濾色片插槽

內(nèi)置100-240V寬電壓系統(tǒng),采用數(shù)字調(diào)光,具有光強(qiáng)設(shè)定與復(fù)位功能

透射照明系統(tǒng)

搖出式消色差聚光鏡(N.A.0.9)

5W大功率LED燈,亮度可調(diào),預(yù)定中心

偏光裝置

起偏鏡:插入式起偏鏡,可以移出光路

檢偏鏡:插入式可360°旋轉(zhuǎn)檢偏鏡,可以移出光路

暗場(chǎng)裝置

推拉式暗場(chǎng)觀察拉桿,可快速轉(zhuǎn)換到暗場(chǎng)觀察

微分干涉DIC

諾曼爾斯基微分干涉片(選配)

高清數(shù)字?jǐn)z像機(jī)CKC2000S

最高分辨率 5440×3648,搭載 1 英寸索尼 CMOS 傳感器,2000 萬(wàn)像素、2.4μm 像元;Type-B USB3.0 高速傳輸,多分辨率檔位幀率輸出,寬溫 - 20℃~70℃穩(wěn)定工作,C 型鏡頭接口。

內(nèi)置數(shù)字 ISP 圖像處理,支持手動(dòng) / 自動(dòng)白平衡、增益調(diào)節(jié),長(zhǎng)短曝光可調(diào),最長(zhǎng)曝光 1500ms;支持定時(shí)連拍、錄像、無(wú)損圖像存儲(chǔ),可翻轉(zhuǎn)、縮放裁剪圖像,色彩還原度高,低噪點(diǎn)成像。

顯微軟件

專業(yè)顯微分析軟件,支持景深合成、圖像拼接;可測(cè)量點(diǎn)、線、圓、角度等各類幾何參數(shù),工具操作直觀。

支持錄像、圖像后期編輯,可添加文字、比例尺;多圖像格式輸出,配套 SDK 開(kāi)發(fā)包,兼容國(guó)產(chǎn)系統(tǒng),適用于各類顯微檢測(cè)分析。


四、大平臺(tái)金相顯微鏡組成:

1、金相顯微鏡MCK-6R        2、攝像機(jī)接口

3、高清數(shù)字?jǐn)z像機(jī)CKC2000S    4、0.01mm測(cè)微尺  5、計(jì)算機(jī)(選購(gòu))


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