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MCK-6RC系列為新型大平臺(tái)半導(dǎo)體檢查金相顯微鏡,專為芯片/晶圓/LCD行業(yè)/ 粒子爆破檢查,其微分干涉效果可與進(jìn)口品牌相媲美,MCK-6RC系列機(jī)型采用全新設(shè)計(jì)的長(zhǎng)工作距物鏡、半復(fù)消色差技術(shù),多層寬帶鍍膜技術(shù),采用長(zhǎng)壽命LED光源多種高度功能化的附件,能滿足各種檢驗(yàn)需要,可用于明場(chǎng)、暗場(chǎng)、簡(jiǎn)易偏光、微分干涉觀察。
一、大平臺(tái)金相顯微鏡主要用途和特點(diǎn):
MCK-6RC系列為新型大平臺(tái)半導(dǎo)體檢查金相顯微鏡,專為芯片/晶圓/LCD行業(yè)/ 粒子爆破檢查,其微分干涉效果可與進(jìn)口品牌相媲美,MCK-6RC系列機(jī)型采用全新設(shè)計(jì)的長(zhǎng)工作距物鏡、半復(fù)消色差技術(shù),多層寬帶鍍膜技術(shù),采用長(zhǎng)壽命LED光源多種高度功能化的附件,能滿足各種檢驗(yàn)需要,可用于明場(chǎng)、暗場(chǎng)、簡(jiǎn)易偏光、微分干涉觀察。
性能特點(diǎn):
■ 所有光學(xué)部件均經(jīng)過(guò)特殊處理并鍍有特殊膜層
■ 6英寸大平臺(tái)半導(dǎo)體檢查顯微鏡,其微分干涉效果可與進(jìn)口品牌相媲美
■ 6英寸大平臺(tái)半導(dǎo)體檢查顯微鏡機(jī)型采用全新設(shè)計(jì)的長(zhǎng)工作距物鏡、半復(fù)消色差技術(shù),多層寬帶鍍膜技術(shù)。
■ 各種觀察方法下都能得到清晰銳利與高對(duì)比度的顯微圖像。
■ 高清相機(jī)CKC600,630萬(wàn)像素,幀速40fps;高清相機(jī)CKC2000,2000萬(wàn)像素,幀速真大15fps;可根據(jù)實(shí)際使用要求進(jìn)行選配;
● 獨(dú)立的金相檢測(cè)系統(tǒng)
不同于傳統(tǒng)的金相顯微鏡,蔡康光學(xué)金相系統(tǒng)顯微鏡選擇了緊湊的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),外觀大氣穩(wěn)重,操作更為靈活。集成了明場(chǎng)、暗場(chǎng)、偏光、DIC微分干涉等多種觀察功能,可根據(jù)實(shí)際應(yīng)用進(jìn)行選擇。
● 無(wú)限遠(yuǎn)鉸鏈三目觀察筒
正像鉸鏈三目觀察筒,所成像的方位與物體實(shí)際方向相同,物體移動(dòng)的方向跟像面移動(dòng)的方向相同,便于觀察與操作。
● 高品質(zhì)專業(yè)LCD檢測(cè)金相物鏡
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名稱 |
倍率 |
數(shù)值孔徑 |
工作距離 |
名稱 |
倍率 |
數(shù)值孔徑 |
工作距離 |
|
半復(fù)
明暗場(chǎng)物鏡 |
5X |
0.15 |
14.8mm |
螢石
明暗場(chǎng)物鏡 |
5X |
0.15 |
20mm |
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10X |
0.30 |
8.5mm |
10X |
0.30 |
11mm |
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|
20X |
0.45 |
11.9mm |
20X |
0.45 |
3.0mm |
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|
50X |
0.75 |
3.0mm |
50X |
0.80 |
1.0mm |
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100X |
0.80 |
3.0mm |
100X |
0.90 |
1.0mm |
● 高眼點(diǎn)大視野屈光度可調(diào)平場(chǎng)目鏡
SWH10X-H/23mm高眼點(diǎn)大視野平場(chǎng)目鏡, 屈光度可調(diào)。
SWH10X-H/25mm超寬25mm視野高眼點(diǎn)目鏡,相對(duì)常規(guī)22mm的視場(chǎng)范圍,視野更加平坦,寬廣,并且視場(chǎng)邊緣都能保證清晰明亮,給用戶更加舒適的視覺(jué)感受。提供更加平臺(tái)的觀察范圍,提高工作效率。更大值域屈光度調(diào)節(jié)范圍可滿足更多用戶的使用需求。
亦可選配其它倍率、視場(chǎng),并根據(jù)不同需求添加指針、測(cè)微尺及視度可調(diào)功能。
● 高精度物鏡轉(zhuǎn)換器
轉(zhuǎn)換器采用精密軸承設(shè)計(jì),轉(zhuǎn)動(dòng)手感輕巧舒適,重復(fù)定位精度高,物鏡轉(zhuǎn)換后的同心度也得到較好的控制。
二、大平臺(tái)金相顯微鏡MCK-6RC 功能介紹:
MCK-6RC 集成了明場(chǎng)、暗場(chǎng)、偏光、DIC等多種觀察功能。 廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、FPD、電路封裝、電路基板、材料、鑄件金屬陶瓷部件、精密磨具等檢測(cè).
集成了明場(chǎng)、暗場(chǎng)、偏光、DIC等各種觀察功能,可根據(jù)實(shí)際應(yīng)用,進(jìn)行功能選擇。
●明場(chǎng)觀察(反射)
反射照明系統(tǒng),配以全新設(shè)計(jì)的無(wú)限遠(yuǎn)半復(fù)消長(zhǎng)距明暗場(chǎng)物鏡,從低倍到高倍,都能得到清晰、平坦、明亮的高畫(huà)質(zhì)顯微圖像。
●明場(chǎng)觀察(透射)
10W大功率LED,配以N.A.0.9聚光鏡,可在透射照明下,觀察LCD彩色液晶顯示屏,器件框架邊緣等。
●暗場(chǎng)觀察
將暗場(chǎng)照明拉桿拉到指定位置,即可使用暗場(chǎng)功能,可以觀察物體表面的各種劃痕、雜志點(diǎn)及其他細(xì)微缺陷。
●簡(jiǎn)易偏光觀察
偏振系統(tǒng)包括了起偏鏡插板和檢偏鏡插板,可做偏光檢測(cè),在半導(dǎo)體和PCB檢測(cè)中,可消除雜光,細(xì)節(jié)更清晰真實(shí)。360度旋轉(zhuǎn)式檢偏器可以在不移動(dòng)標(biāo)本的情況下,方便的觀察標(biāo)本在不同偏振角度光線下呈現(xiàn)的狀態(tài).
●DIC微分干涉觀察(選配)
DIC諾曼爾斯基微分干涉襯比系統(tǒng)附件。
在正交偏光的基礎(chǔ)上,插入DlC棱鏡,可進(jìn)行DIC微分干涉相襯觀察。DIC技術(shù)可以使物體表面微小的高低差產(chǎn)生明顯的浮雕效果,大幅提高圖像對(duì)比度。
采用高性能微分干涉組件,可以將明場(chǎng)觀察下無(wú)法檢測(cè)的細(xì)微高低差,轉(zhuǎn)化為高對(duì)比度的明暗差并以立體浮雕形式表現(xiàn)出來(lái),廣泛用于LCD導(dǎo)電粒子,精密磁盤表面劃痕檢測(cè)等領(lǐng)域。
三、大平臺(tái)金相顯微鏡主要技術(shù)參數(shù):
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名 稱 |
參數(shù)規(guī)格 |
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光學(xué)系統(tǒng) |
無(wú)限遠(yuǎn)色差校正光學(xué)系統(tǒng) |
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觀察方式 |
明場(chǎng)/暗場(chǎng)/偏光 |
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光學(xué)放大倍數(shù) |
50倍-1000倍 |
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數(shù)碼放大倍數(shù) |
150倍-3000倍 |
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觀察筒 |
正像,無(wú)限遠(yuǎn)鉸鏈三通觀察筒,瞳距調(diào)節(jié):50mm~76mm,兩檔分光比雙目:三目=100:0 |
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目鏡 |
高眼點(diǎn)大視野目鏡SWH10X-H/23mm,視度可調(diào) |
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無(wú)限遠(yuǎn)半復(fù)消色差長(zhǎng)距明暗場(chǎng)物鏡 |
物鏡倍率 |
數(shù)值孔徑N A |
工作距離WD(mm) |
齊焦距離 |
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5X |
0.15 |
14.8 |
45 |
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10X |
0.3 |
8.5 |
45 |
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|
20X |
0.45 |
11.9 |
45 |
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|
50X |
0.75 |
3.0 |
45 |
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100X(選配) |
0.80 |
3.0 |
45 |
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物鏡轉(zhuǎn)換器 |
5孔明暗場(chǎng)手動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器(帶DIC插槽) |
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調(diào)焦機(jī)構(gòu) |
低手位粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)。粗調(diào)行程35mm,微調(diào)精度0.001mm。帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機(jī)上限位裝置 |
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載物臺(tái) |
6英寸平臺(tái),平臺(tái)面積 450*220mm,移動(dòng)行程:158mmX158mm機(jī)械平臺(tái),X、Y方向同軸調(diào)節(jié);含快速移動(dòng)裝置 |
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落射照明系統(tǒng) |
5W大功率LED燈,亮度可調(diào),預(yù)定中心 |
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帶可變孔徑光闌,視場(chǎng)光闌,中心可調(diào),帶濾色片插槽 |
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內(nèi)置100-240V寬電壓系統(tǒng),采用數(shù)字調(diào)光,具有光強(qiáng)設(shè)定與復(fù)位功能 |
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透射照明系統(tǒng) |
搖出式消色差聚光鏡(N.A.0.9) |
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5W大功率LED燈,亮度可調(diào),預(yù)定中心 |
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偏光裝置 |
起偏鏡:插入式起偏鏡,可以移出光路 |
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檢偏鏡:插入式可360°旋轉(zhuǎn)檢偏鏡,可以移出光路 |
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暗場(chǎng)裝置 |
推拉式暗場(chǎng)觀察拉桿,可快速轉(zhuǎn)換到暗場(chǎng)觀察 |
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微分干涉DIC |
諾曼爾斯基微分干涉片(選配) |
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高清數(shù)字?jǐn)z像機(jī)CKC2000S |
最高分辨率 5440×3648,搭載 1 英寸索尼 CMOS 傳感器,2000 萬(wàn)像素、2.4μm 像元;Type-B USB3.0 高速傳輸,多分辨率檔位幀率輸出,寬溫 - 20℃~70℃穩(wěn)定工作,C 型鏡頭接口。
內(nèi)置數(shù)字 ISP 圖像處理,支持手動(dòng) / 自動(dòng)白平衡、增益調(diào)節(jié),長(zhǎng)短曝光可調(diào),最長(zhǎng)曝光 1500ms;支持定時(shí)連拍、錄像、無(wú)損圖像存儲(chǔ),可翻轉(zhuǎn)、縮放裁剪圖像,色彩還原度高,低噪點(diǎn)成像。 |
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顯微軟件 |
專業(yè)顯微分析軟件,支持景深合成、圖像拼接;可測(cè)量點(diǎn)、線、圓、角度等各類幾何參數(shù),工具操作直觀。
支持錄像、圖像后期編輯,可添加文字、比例尺;多圖像格式輸出,配套 SDK 開(kāi)發(fā)包,兼容國(guó)產(chǎn)系統(tǒng),適用于各類顯微檢測(cè)分析。 |
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四、大平臺(tái)金相顯微鏡組成:
1、金相顯微鏡MCK-6R 2、攝像機(jī)接口
3、高清數(shù)字?jǐn)z像機(jī)CKC2000S 4、0.01mm測(cè)微尺 5、計(jì)算機(jī)(選購(gòu))